電子工業(yè)潔凈廠房氣體供應(yīng)設(shè)計一般規(guī)定如下：

1. 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。

2. 常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。

3. 潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統(tǒng)，除應(yīng)符合本規(guī)范外，還應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016、《氫氣站設(shè)計規(guī)范》GB 50177和《氧氣站設(shè)計規(guī)范》GB 50030等的有關(guān)規(guī)定。

4. 潔凈廠房內(nèi)的氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。當與水、電管線共架時，比空氣重的氣體管道宜設(shè)在水、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設(shè)在水、電管線上部。

5. 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的可燃氣體管道和有毒氣體管道應(yīng)明敷，穿過潔凈室（區(qū)）的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。

6. 可燃氣體管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間；當必須穿過時應(yīng)設(shè)套管或雙層管。

7. 高純氣體管道設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

      （1） 管徑應(yīng)按氣體容許流量、壓力或生產(chǎn)工藝設(shè)備確定，管外徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm，

      （2）不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間，

      （3）管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口。

8. 潔凈廠房的可燃氣體管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列安全設(shè)施：

      （1）可燃氣體管道設(shè)置閥門時應(yīng)設(shè)置閥門箱，閥門箱應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警和事故排風裝置，報警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風機聯(lián)鎖；

      （2）接至用氣設(shè)備的支管和放散管，宜設(shè)置阻火設(shè)施；

      （3）引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)置防雷保護設(shè)施，

      （4）應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。

9. 氣體過濾器應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體潔凈度的要求進行選擇和配置。終端氣體過濾器應(yīng)設(shè)置在靠近用氣點處。