一、潔凈室微振檢測(cè)方法和要求

1. 應(yīng)用能滿足檢測(cè)精度要求的振動(dòng)分析計(jì)測(cè)定。

2. 測(cè)點(diǎn)應(yīng)選在室中心地面和認(rèn)為有必要測(cè)定振動(dòng)的位置的地面上，以及各壁板表面的中心處。

3. 應(yīng)分別測(cè)出室內(nèi)全部?jī)艋照{(diào)設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn)和停止運(yùn)轉(zhuǎn)兩種情況下縱軸、橫軸和垂直軸三個(gè)方向的振幅值。

4. 當(dāng)對(duì)室內(nèi)振動(dòng)影響作細(xì)致確認(rèn)時(shí)，可測(cè)室內(nèi)微振。室內(nèi)微振應(yīng)按附錄E檢驗(yàn)，縱、橫和垂直三個(gè)方向的振幅均應(yīng)符合設(shè)計(jì)或相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的要求。

二、潔凈室表面導(dǎo)靜電性能檢測(cè)方法和要求

1. 地面、墻面和工作臺(tái)面等表面導(dǎo)靜電性能的檢測(cè)環(huán)境溫度應(yīng)在15℃～35℃之間，相對(duì)濕度在45％～70％。

2. 地面、墻面和工作臺(tái)面等表面導(dǎo)靜電性能應(yīng)采用符合精度要求的高阻計(jì)檢測(cè)。

3. 在表面上人活動(dòng)區(qū)域選定的一組2點(diǎn)間或幾組2點(diǎn)間檢測(cè)，可選用圖E.9.3的測(cè)試裝置。

4. 當(dāng)對(duì)室內(nèi)表面導(dǎo)靜電性能作細(xì)致確認(rèn)時(shí)，可測(cè)表面導(dǎo)靜電性能。表面導(dǎo)靜電性能應(yīng)按附錄E檢驗(yàn)，表面電阻值和漏泄電阻值應(yīng)符合被測(cè)對(duì)象的靜電控制標(biāo)準(zhǔn)的要求。沒有控制標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，表面電阻值應(yīng)為1.0×10⁵Ω～1.0×10¹⁰Ω，其中一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)為1.0×10⁵Ω～1.0×10⁷Ω，漏泄電阻值應(yīng)為1.0×10⁵Ω～1.0×10⁸Ω。