一、潔凈室氣密性檢測方法原理
1. 保持室內為正壓或負壓均能滿足檢驗要求，但條件允許時，負壓潔凈室宜用正壓檢驗，正壓潔凈室宜用負壓檢驗。
2. 可按以下方法進行檢測：
（1） 壓力衰減法
使室內達到某一壓力（正壓或負壓），關閉加壓或抽負壓系統(tǒng)，觀察壓力隨時間衰減的情況，記錄下壓力衰減到起始壓力的一半時所用的時間，即為測量室內正壓或負壓的半衰期。
（2） 恒壓法
使室內達到某一正壓，同時向室內補氣，使室壓達到要求的穩(wěn)定值而不下降時的補氣量即為漏泄量。使室內達到某一負使室壓維持要求的穩(wěn)定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量。
二、壓力衰減法
1. 測試系統(tǒng)如圖G.2.1所示。
2. 可按以下步驟進行檢測
（1） 將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩(wěn)定，記錄壓力衰減測試過程中室內溫度的變化（溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃）。
（2） 關閉所測潔凈室圍護結構上的門、傳遞窗等，關閉回風管（或排風管）上的氣密閥門，不得在風口上加其他密封措施，并維持各種孔洞縫隙的密封現(xiàn)狀。
（3） 開啟送風，使室內壓力上升至已商定的測試壓力（壓力計量程至少為測試壓力的1.5倍，最小示值不宜大于10Pa），壓力穩(wěn)定后，停止送風，關閉送風閥門。
圖G.2.1 壓力衰減法系統(tǒng)
1-潔凈室；2-送風機；3一調節(jié)閥；4-密閉閥；5--微壓計；6一排風機
（4） 或反之關閉送風管上的閥門，如果送風管上無閥或閥不嚴，應在送風口上用塑料膜加盲板的方法封住風口，開啟排風，使室內壓力下降至已商定的測試壓力，壓力穩(wěn)定后，停止排風，關閉排風氣密閥門。
（5） 從停止送（排）風起，記錄壓力隨時間衰減的數據，每1min記錄1次壓差和溫度，連續(xù)記錄至室內壓力下降至初始壓力的一半時止。
（6） 測試結束后慢慢打開風閥，使房間壓力恢復到正常狀態(tài)。
（7） 如果需要進行重復測試，20min后進行。
（8） 當不用風機時也可用空氣壓縮機或真空泵。
3. 檢測報告應包括以下內容：
（1） 檢測條件，包括室內溫度等。
（2） 檢測方法包括檢測所用儀器設備規(guī)格型號及精度；所測潔凈室壓力、溫度的動態(tài)變化；檢測持續(xù)的時間。
（3） 檢測結果包括所測潔凈室壓力下降至初始壓力的1／2時的時間內壓力衰減率；所測潔凈室圍護結構嚴密性的評價。
三、恒壓法
1. 測試系統(tǒng)如圖G.3.1所示。
圖G.3.1 恒壓法測試系統(tǒng)
1-潔凈室；2-送風機；3-調節(jié)閥；4-密閉閥；5-微壓計；6-排風機；7-氣泵；8-流量計；9-真空泵
注：正壓檢驗時用氣泵，負壓檢驗時用真空泵
2. 可按以下步驟進行檢測：
（1） 將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩(wěn)定，記錄測試過程中室內溫度的變化（溫度計或溫度傳感器的最小示值不宜大于0.1℃）。
（2） 關閉所測潔凈室圍護結構上的門、傳遞窗等，關閉回風管（或排風管）上的閥門，如果風管上無閥或閥不嚴，應在回風口（或排風口）上用塑料膜加盲板的方法封住風口。
（3） 開啟送風，使室內壓力上升至500Pa，停止送風，關閉送風閥門。
通過圍護結構上的孔洞和導管，由送風機或空氣壓縮機向室內補氣，通過調節(jié)安裝在導管上的調節(jié)閥調整補氣流量，以維持潔凈室內的壓力穩(wěn)定不下降，每隔1min記錄一次補氣管路上浮子流量計讀數，此數即為漏氣量，測試持續(xù)的時間宜不超過5min，取平均值。
（4） 反之關閉送風閥，開啟排風，當內壓力下降至-500Pa時關閉排風，開啟真空泵保持室內壓力，記錄真空泵抽氣量，此數即漏泄量。
（5） 測試結束后慢慢打開風閥，使房間壓力恢復到正常狀態(tài)。
（6） 如果需要進行重復測試，20min后進行。
（7） 當不用風機時也可用空氣壓縮機或真空泵。
3. 檢測報告應包括以下內容：
（1）檢測條件，包括室內溫度等。
（2） 檢測方法包括檢測所用儀器設備規(guī)格型號及精度；室內溫度的動態(tài)變化；漏泄量的動態(tài)變化。
（3） 檢測結果包括所測潔凈室5min內的每小時漏泄率；所測潔凈室圍護結構嚴密性的評價。
四、潔凈室氣密性檢測安全要求
1. 應制定防范預案。
2. 必須對被檢驗室內的溫度進行監(jiān)測。
3. 恒壓法測試持續(xù)時間不宜太長。
