潔凈室要提供滿足工藝過程要求的合格潔凈環(huán)境,應從設計、建造、調試和運行管理各方面遵循如圖1所示的四個基本原則:
圖1 潔凈工程設計的四個基本原則
1.防止?jié)崈羰彝獾念w粒物直接侵入室內
主要采取以下技術措施:
1)潔凈室內維持正壓,防止?jié)崈舳缺仍摑崈羰业偷闹車諝鈹y帶顆粒物及其他污染物通過圍護結構的縫隙和孔洞直接進入室內;
2)采用符合要求的空氣凈化系統(tǒng)對送風進行過濾。經高效過濾后的空氣,不得被其后的管道、送風口等再污染,同時注意高效過濾器與安裝密封設施,以免未經高效過濾的空氣滲漏入室;
3)對進入室內的人員和物料采取合格的凈化措施,防止將污染物帶入潔凈室內。
2.防止顆粒物在潔凈室內堆積(積聚)
主要采取以下技術措施:
1)潔凈室圍護結構內表面不應或盡量減少突出物和溝縫,以免堆積塵埃;
2)室內的設備、管路、家具等應易于清掃;
3)設置真空清掃系統(tǒng)或真空掃除機,定期清掃。
3.防止室產生顆粒物
主要采取以下技術措施:
1)潔凈室內的建筑裝修材料、設備、家具、用具等應不產塵或盡可能少產塵;
2)室內人員應穿著合格的潔凈服、遵循潔凈室操作(動作)規(guī)程,以減少發(fā)塵;
3)提高工藝過程的機械化、自動化程度,這對高級別潔凈室尤為重要。
4.迅速有效地排除進入室內和室內發(fā)生的顆粒物
主要采取以下技術措施:
1)用經過凈化的潔凈空氣及時排除室內發(fā)塵,可以采用“稀釋沖淡”或“活塞置換”的手段來排除室內的發(fā)塵。
2)用足夠的風量保證必要的換氣次數以及采用合理的氣流組織來實現塵粒的排除,氣流組織要考慮到室內工藝設備和發(fā)塵點的位置等實際情況。
3)對發(fā)塵量比較大的設備可以采用局部排風設施。
由此可知,這些基本原則的實施是要由規(guī)劃、建筑、工藝、空氣凈化、設備材料以及運行管理等多方面共同配合才能的實現的。